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溫州康鼎凈化工程有限公司
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劉經(jīng)理 先生 0577-88906188 2233863542@qq.com康鼎凈化無(wú)塵車間工程 |
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| 詳細(xì)信息 | ||
| 無(wú)塵車間的環(huán)境控制與檢測(cè) 在集成電路的制造過(guò)程中，被加工的是單一的硅片，從原材料到產(chǎn)品需要進(jìn)行幾百道物 理、化學(xué)加工工序，其間如果遭受污染，就會(huì)引起產(chǎn)品大量報(bào)廢，例如64MDRAM，在制造過(guò)程中，空氣中塵埃粒徑應(yīng)被控制在0.035ym以下；環(huán)境微振動(dòng)值應(yīng)控制在4.5×10—3 mm/s以下，在光刻工序，很小的微振動(dòng)會(huì)引起對(duì)位不準(zhǔn)，影響產(chǎn)品的成品率 為了滿足集成電路日益精細(xì)的加工要求，各國(guó)在微污染控制技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)投入了可觀的人 力、物力進(jìn)行系統(tǒng)研究，取得了大量科技成果，涌現(xiàn)了一批高科技產(chǎn)品，諸如超高效過(guò)濾 器（過(guò)濾效率達(dá)99.999 99%）的問(wèn)世及IS0 3級(jí)(O.lpm)無(wú)塵車間的建立；超純水及超純 氣體的應(yīng)用；隧道式無(wú)塵車間及微環(huán)境系統(tǒng)無(wú)塵車間的出現(xiàn)和使用，大大降低了污染。 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、進(jìn)步，防微振技術(shù)必須不斷地探索、提高和深化，這將是歷史的必然。而解決好防微振技術(shù)。 防微振的重要性體現(xiàn)在各行各業(yè)：例如感光化學(xué)工業(yè)，彩色膠片乳劑層14個(gè)涂層總厚度僅19pLm，在涂布過(guò)程中由于微小的振動(dòng)將使乳劑涂層厚薄不勻，在膠片上產(chǎn)生橫紋；在慣導(dǎo)技術(shù)方面，為了提高導(dǎo)彈的打擊精度，準(zhǔn)確命中目標(biāo)，需要對(duì)陀螺儀、加速度計(jì)及組合制導(dǎo)（衛(wèi)星、導(dǎo)航、地形匹配及景物匹配）系統(tǒng)的精度提出高的要求，這種高精度慣導(dǎo)系統(tǒng)的調(diào)試和檢測(cè)，必須在極為寧?kù)o的環(huán)境中進(jìn)行；對(duì)于微電子工業(yè)，線寬0. 1y.m (4G DRAM)產(chǎn)品已進(jìn)入市場(chǎng)，硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝?dòng)的控制要求極為嚴(yán)格；其他 如精密機(jī)械加工、光學(xué)器件檢測(cè)、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制以及理化風(fēng)淋室系列實(shí)驗(yàn)等都需要對(duì)微振動(dòng)進(jìn)行控制。 在防微振 領(lǐng)域，從廠房結(jié)構(gòu)形式、動(dòng)力設(shè)備布置及隔振措施到精密設(shè)備防微振措施等方面獨(dú)特的建 樹，為集成電路生產(chǎn)提供了一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境?？梢哉J(rèn)為風(fēng)淋傳遞窗，當(dāng)今微污染控制領(lǐng)域諸多科技成果 的出現(xiàn)無(wú)不與集成電路生產(chǎn)的飛速發(fā)展有關(guān)。 集成電路工廠的前工序（硅片加工）對(duì)微環(huán)境控制最為嚴(yán)格。在防微振方面，要求工廠 ， 建造在遠(yuǎn)離鐵路、機(jī)場(chǎng)、公路干線且綠化較好的地區(qū)，廠區(qū)總平面布置要求單建的動(dòng)力站房 與潔凈廠房之間留有足夠的距離。 我國(guó)對(duì)防微振的研究及工程實(shí)踐始于20世紀(jì)60年代初期，經(jīng)歷了幾代人的努力，不僅 建立和完善了防微振理論，開發(fā)了防微振用系列化隔振產(chǎn)品，還進(jìn)行了大量的工程實(shí)踐，成功地解決了彩色膠片涂布、慣導(dǎo)系統(tǒng)測(cè)試、集成電路光刻工序、空間光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制、文物保護(hù)等方面的防微振問(wèn)題，為我國(guó)現(xiàn)代化科技的發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。 溫州康鼎凈化工程有限公司是專業(yè)從事無(wú)菌室（實(shí)驗(yàn)室、手術(shù)室）、潔凈室（無(wú)塵車間等項(xiàng)目）裝修以及高品質(zhì)凈化設(shè)備生產(chǎn)銷售。公司追尋"信任，創(chuàng)新，完美，效率"的經(jīng)營(yíng)理念、立足長(zhǎng)江三角洲，用心為客戶提供"最高的性價(jià)比",工程質(zhì)量超越國(guó)際一流標(biāo)準(zhǔn)。 聯(lián)系電話： 0577-88906188/15557555596 網(wǎng)站地址： www.wzkd.net 公司地址： 溫州市鹿城區(qū)炬光園炬新路21號(hào) |
